ミスト CVD による ZnO ナノ粒子分散(Ga,Al)2O3 薄膜の作製
ミスト CVD による ZnO ナノ粒子分散(Ga,Al)2O3 薄膜の作製
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雾气CVD法制备ZnO纳米颗粒分散(Ga,Al)2O3薄膜
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
原 和彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
矢ケ崎 司;奈良 俊宏，田中 京輔;伊藤 里樹;光野 徹也;小南 裕子;原 和彦
