Dynamic Uniformity Modeling in Superconductor Manufacturing via Vector Autoregression Analysis
Dynamic Uniformity Modeling in Superconductor Manufacturing via Vector Autoregression Analysis
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通过矢量自回归分析进行超导体制造中的动态均匀性建模
DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
Jain, R.
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Peng, S.;Li, M.;Lin, Y.;Feng, Q.;Fu, W.;Galstyan, E.;Chen, S.;Jain, R.