ヘキサメチルジシランの解離フラグメントの低エネルギーイオンビーム生成とシリコンカーバイド成膜
ヘキサメチルジシランの解離フラグメントの低エネルギーイオンビーム生成とシリコンカーバイド成膜
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低能离子束产生六甲基乙硅烷的离解碎片和碳化硅薄膜的形成
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
木内正人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吉村智;杉本敏司;木内正人
