X線ミラーを用いたsub-5nm集光システムの開発

X線ミラーを用いたsub-5nm集光システムの開発
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使用X射线镜开发5nm以下聚焦系统

DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
井上陽登，松山智至，一井愛雄，山田純平，佐野泰久，山内和人
井上陽登，松山智至，一井愛雄，山田純平，佐野泰久，山内和人
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Yamaguchi Kazushi;Otomo Kohei;Kozawa Yuichi;Tsutsumi Motosuke;Inose Tomoko;Hirai Kenji;Sato Shunichi;Nemoto Tomomi;Uji-i Hiroshi;井上陽登，松山智至，一井愛雄，山田純平，佐野泰久，山内和人

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