Structure and Strain of Hafnium Oxide Thin Films Studied by X-Ray Diffraction
Structure and Strain of Hafnium Oxide Thin Films Studied by X-Ray Diffraction
复制标题
X射线衍射研究氧化铪薄膜的结构和应变
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Koichi Akimoto and Fumie Nishikawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Mizuki Shoro;Yuko Kitano;Satoko Miyakawa;Koichi Akimoto;Koichi Akimoto and Fumie Nishikawa
