Study on Enhancement of Discharge Current in the Ring-Shaped Magnetron Ion Source for the Low Operating Pressure IEC Device
Study on Enhancement of Discharge Current in the Ring-Shaped Magnetron Ion Source for the Low Operating Pressure IEC Device
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低工作压IEC装置环形磁控离子源增强放电电流的研究
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Kajiwara et al
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Ariyoshi;T. Taino;A. Dobroiu;H. Sato;H. Matsuo;C. Otani;T. Kajiwara et al
