Plasma-surface interactions for top-down and bottom-up nanofabrication
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复制标题
自上而下和自下而上纳米加工的等离子体表面相互作用
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Ono
中科院分区：
文献类型：
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作者：
北野勝久;井川聡;中島陽一;谷篤史;K. Ono
