室温室原子層堆積法によるTi０２チャンネルTFTの試作と光センサへの応用
室温室原子層堆積法によるTi０２チャンネルTFTの試作と光センサへの応用
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采用温室原子层沉积方法的Ti02通道TFT的原型制作及其在光学传感器中的应用
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
廣瀬文彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
菊地航;三浦正範;鹿又健作;有馬ボシールアハンマド;久保田繁;廣瀬文彦
