Stacking of nanoscale metal dot array using liquid transfer imprint lithography with roll press

Stacking of nanoscale metal dot array using liquid transfer imprint lithography with roll press
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使用液体转移压印光刻和辊压机堆叠纳米级金属点阵列

DOI:
10.1016/j.mee.2015.02.008
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发表时间:
2015
影响因子:
2.3
通讯作者:
Jun Taniguchi
Jun Taniguchi
中科院分区:
工程技术3区
文献类型:
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作者:
Takahiro Tsuji;Jun Taniguchi

文献摘要

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