Si/SiO_2高对比光栅参数对反射率的影响
Si/SiO_2高对比光栅参数对反射率的影响
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DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
王立军
中科院分区：
文献类型：
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作者：
陈泳屹;秦莉;刘云;王立军
