反応性スパッタで作製した酸化タングステン薄膜のCV耐久性

反応性スパッタで作製した酸化タングステン薄膜のCV耐久性
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反应溅射制备氧化钨薄膜的CV耐久性

DOI:
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发表时间:
2023
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
倉田翔次郎,穂坂晃佑,モハメッド シュルズ ミヤ,中野武雄
倉田翔次郎,穂坂晃佑,モハメッド シュルズ ミヤ,中野武雄
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Jeong Seunghyun;Yoon Joon Ho;Attri Pankaj;Kim In Tae;倉田翔次郎,穂坂晃佑,モハメッド シュルズ ミヤ,中野武雄

文献摘要

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