K.Ino: "In situ Chamber Cleaning Using Halo-genated-Gas Plasmas Evaluated by Plasma-Parameter Extraction" Extended Abstracts,1993 International Conference on Solid State Devices and Materials,Chiba. 588-590 (1993)
K.Ino: "In situ Chamber Cleaning Using Halo-genated-Gas Plasmas Evaluated by Plasma-Parameter Extraction" Extended Abstracts,1993 International Conference on Solid State Devices and Materials,Chiba. 588-590 (1993)
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K.Ino：“通过等离子体参数提取评估卤化气体等离子体的原位腔室清洁”扩展摘要，1993 年国际固态器件和材料会议，千叶。
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