Fabrication of defect-free and diameter-controlled silicon nanodisks for future quantum devices by using neutral beam etching
Fabrication of defect-free and diameter-controlled silicon nanodisks for future quantum devices by using neutral beam etching
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使用中性束蚀刻制造用于未来量子器件的无缺陷和直径受控的硅纳米盘
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Tomohiro Kubota
中科院分区：
文献类型：
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作者：
田村英樹;曽根田敏昭;富川義朗;広瀬精二;Tomohiro Kubota;Tomohiro Kubota;Tomohiro Kubota
