W、Mo离子注入对离子镀TiN薄膜表面结构和性能的影响
W、Mo离子注入对离子镀TiN薄膜表面结构和性能的影响
复制标题
DOI：
10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.06.027
复制
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
王成彪
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
田斌;刘宝辉;岳文;王成彪
