SiN膜によるグラフェン保護プロセスの検討
SiN膜によるグラフェン保護プロセスの検討
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SiN薄膜石墨烯保护工艺研究
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松本 和彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
谷奥 正巳;小野 尭生;金井 康;小山 知弘;宮 川 成人;牛場 翔太;木村 雅彦;井上 恒一;千葉 大 地;松本 和彦
