非平衡スパッタリング法によるTi-Ni 形状記憶合金薄膜の作製とその通電加熱に伴う形状記憶挙動

非平衡スパッタリング法によるTi-Ni 形状記憶合金薄膜の作製とその通電加熱に伴う形状記憶挙動
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非平衡溅射法制备Ti-Ni形状记忆合金薄膜及其电加热形状记忆行为

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
J.Vac.Soc.Jpn. Vol.51
影响因子:
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通讯作者:
小寺澤啓司
小寺澤啓司
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
井上尚三;生津資大;小寺澤啓司

文献摘要

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