スパッタリング法を用いたケイ酸塩薄膜の作製
スパッタリング法を用いたケイ酸塩薄膜の作製
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溅射法制备硅酸盐薄膜
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
青木秀希
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小野篤広;尾関和秀;青木秀希
