バラン給電型SiH4/H2リモートプラズマにおけるイオン衝撃エネルギー測定と評価
バラン給電型SiH4/H2リモートプラズマにおけるイオン衝撃エネルギー測定と評価
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平衡-不平衡变换器馈电 SiH4/H2 远程等离子体中的离子撞击能量测量和评估
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
滝下裕基，牟田浩司，西田哲，栗林志頭眞
中科院分区：
文献类型：
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作者：
千藤彰大，西田哲，牟田浩司，栗林志頭眞;兼松雅斗，西田哲，牟田浩司，栗林志頭眞;三和寛之，西田哲，牟田浩司，野々村修一，栗林志頭眞;岡田俊，牟田浩司，西田哲，栗林志頭眞;滝下裕基，牟田浩司，西田哲，栗林志頭眞
