气囊抛光路径对光学元件中频误差的影响
气囊抛光路径对光学元件中频误差的影响
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DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
彭云峰
中科院分区:
文献类型:
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作者:
毕果;胡陈林;姜涛;彭云峰