H.Kawasaki,Y.Matsuda and H.Fujiyama: "TwoーDimensional Profile of Enissive Species in a Magnetized SiH_4/Ar Glow Discharge for Scanning Plasma CVD Method" IEEE Plasma Science. (1991)
H.Kawasaki,Y.Matsuda and H.Fujiyama: "TwoーDimensional Profile of Enissive Species in a Magnetized SiH_4/Ar Glow Discharge for Scanning Plasma CVD Method" IEEE Plasma Science. (1991)
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H. Kawasaki、Y. Matsuda 和 H. Fujiyama：“用于扫描等离子体 CVD 方法的磁化 SiH_4/Ar 辉光放电中的二维剖面”IEEE 等离子体科学 (1991)。
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