Masanori Murakami: "Deformation in thin films by thermal strain" J. Vac. Sci. Technol.A9(4). 2469-2476 (1991)
Masanori Murakami: "Deformation in thin films by thermal strain" J. Vac. Sci. Technol.A9(4). 2469-2476 (1991)
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Masanori Murakami：“热应变引起的薄膜变形”J. Vac。
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