Resist materials for proton micromachining
Resist materials for proton micromachining
复制标题
用于质子微加工的抗蚀剂材料
DOI：
10.1016/s0168-583x(99)00392-4
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发表时间：
1999
影响因子：
1.3
通讯作者：
F. Watt
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J. A. Kan;J. L. Sanchez;B. Xu;T. Osipowicz;F. Watt
