Interferometrischer Liniensensor zur Formmessung von rotationssymmetrischen optisch glatten Oberflächen
Interferometrischer Liniensensor zur Formmessung von rotationssymmetrischen optisch glatten Oberflächen
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干涉式线传感器,用于旋转对称、光学光滑表面的形状测量
DOI:
10.1515/teme-2016-0067
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
Sören Laubach
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Sören Laubach