SOI-MEMSデバイスを用いた磁気特性のコンビナトリアル評価

SOI-MEMSデバイスを用いた磁気特性のコンビナトリアル評価
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使用 SOI-MEMS 器件对磁性能进行组合评估

DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
前谷卓哉,本川侑季,溝尻瑞枝,櫻井淳平,秦誠一
前谷卓哉,本川侑季,溝尻瑞枝,櫻井淳平,秦誠一
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
河合 駿;岡田 法大;湯澤 勝浩;佐々木 寛人;蟹江 慧;清田 泰次郎;清水 一憲;本多 裕之;加藤 竜司;前谷卓哉,本川侑季,溝尻瑞枝,櫻井淳平,秦誠一

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