PZT-Based Piezoelectric MEMS Technology
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DOI：
10.1111/j.1551-2916.2012.05155.x
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发表时间：
2012-06-01
影响因子：
3.9
通讯作者：
Polcawich, Ronald G.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Smith, Gabriel L.;Pulskamp, Jeffrey S.;Polcawich, Ronald G.
本文综述了薄膜材料的设计和制造的最新进展。
This review article presents recent advancements in the design and fabrication of thin-film (