Microfabrication of a MEMS cantilever for mechanically detected high-frequency ESR measurement
Microfabrication of a MEMS cantilever for mechanically detected high-frequency ESR measurement
复制标题
用于机械检测高频 ESR 测量的 MEMS 悬臂微加工
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
E. Ohmichi 他
中科院分区：
文献类型：
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作者：
新岡宏彦;古川太一;一宮正義;芦田昌明;荒木勉;橋本守;E. Ohmichi 他
