貼り合わせSi-on-quartzウエハ上ひずみ増強Ge層を用いたフリースペース近赤外pin受光器
貼り合わせSi-on-quartzウエハ上ひずみ増強Ge層を用いたフリースペース近赤外pin受光器
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在键合石英晶圆上使用应变增强 Ge 层的自由空间近红外引脚接收器
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
石川靖彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
葛谷樹矢;古家聖輝;Jose A. Piedra-Lorenzana;飛沢健;石川靖彦
