Observation of Silicon Front Surface Topographs of a ULSI-Wafer by Synchrotron X-ray Plane Wave
Observation of Silicon Front Surface Topographs of a ULSI-Wafer by Synchrotron X-ray Plane Wave
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通过同步加速器 X 射线平面波观察 ULSI 晶圆的硅正面形貌
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y.Chikaura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Suzuki;Y.Tsukasaki;K.Kajiwara;S.Kawado;S.Iida;Y.Chikaura
