M. Kimura: "THEORETICAL CONSIDERATION OF PLASMA PROCESSING GASES., in Adv. At. Mol. Opt. Phys., eds. M. Kimura and Y. Itikawa"Academic Press, NY Vol. 44. 33 (2000)
M. Kimura: "THEORETICAL CONSIDERATION OF PLASMA PROCESSING GASES., in Adv. At. Mol. Opt. Phys., eds. M. Kimura and Y. Itikawa"Academic Press, NY Vol. 44. 33 (2000)
复制标题
M. Kimura：“等离子体处理气体的理论考虑。Adv. At. Mol. Opt. Phys.，M. Kimura 和 Y. Itikawa 编辑”Academic Press，纽约卷。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
