Evaluation and Relaxation of Internal Stress of BN Films Prepared by Ion Mixing and Vapor Deposition
Evaluation and Relaxation of Internal Stress of BN Films Prepared by Ion Mixing and Vapor Deposition
复制标题
离子混合和气相沉积制备BN薄膜的内应力评价及松弛
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Uchida
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Hanaki;B. Leng;H. Uchida
