ミストCVD法による酸化亜鉛薄膜の成膜における大気圧プラズマ支援の検討
ミストCVD法による酸化亜鉛薄膜の成膜における大気圧プラズマ支援の検討
复制标题
常压等离子体支撑雾气CVD法形成氧化锌薄膜的研究
DOI：
--
复制
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
平松美根男
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
小林滉弥;竹田圭吾;平松美根男
