スパッタ・アニール法によるAlGaN薄膜の作製
スパッタ・アニール法によるAlGaN薄膜の作製
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溅射退火法制备AlGaN薄膜
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
三宅 秀人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
窪谷 茂幸;岩山 章;上杉 謙次郎;正直 花奈子;則松 研二;三宅 秀人
