薄膜の最適設計・成膜技術と膜厚・膜質・光学特性の制御
薄膜の最適設計・成膜技術と膜厚・膜質・光学特性の制御
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最佳薄膜设计/沉积技术以及薄膜厚度、薄膜质量和光学性能的控制
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
益田秀樹，柳下 崇（分担）
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Konishi;A.; Hirao;Y.; Kurata;H.; Kubo;T.;益田秀樹，柳下 崇（分担）
