共振振動を用いた焦点可変マイクロミラーの変形特性最適化
共振振動を用いた焦点可変マイクロミラーの変形特性最適化
复制标题
利用共振优化可聚焦微镜的变形特性
DOI：
--
复制
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
羽根 一博
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
中澤 謙太;佐々木 敬;羽根 一博
