静電吸着によるシリコン表面上の微粒子除去における微粒子サイズの影響
静電吸着によるシリコン表面上の微粒子除去における微粒子サイズの影響
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粒径对静电吸附去除硅表面颗粒的影响
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高橋主人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Yanagi;Y. Murakami;T. Aoyagi;Y. Yamazaki and K. Shimomura;H. Onodera and K. Horio;高橋主人
