Iterative imprint for multilayered nanostructures by feeding, vacuum forming, and bonding of sheets

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通过片材进料、真空成型和粘合对多层纳米结构进行迭代压印

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
J. Vac. Sci. Technol B
影响因子:
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通讯作者:
M. Nakao
M. Nakao
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
H. Suzuki;K. Nagato;S. Sugimoto;K. Tsuchiya;T. Hamaguchi;M. Nakao

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