A novel dark field in-process optical inspection method for micro-openings on mirrored surfaces beyond the diffraction limit using active phase control
A novel dark field in-process optical inspection method for micro-openings on mirrored surfaces beyond the diffraction limit using active phase control
复制标题
一种新型暗场过程中光学检测方法，用于使用主动相位控制来检测超出衍射极限的镜面微开口
DOI：
10.1016/j.cirp.2014.03.035
复制
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
K. Takamasu
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
S. Takahashi;H. Yokozeki;D. Fujii;R. Kudo;K. Takamasu
