Characterization of (111)-oriented Ti1-xAlxN Thin Films on Monocrystalline AlN
Characterization of (111)-oriented Ti1-xAlxN Thin Films on Monocrystalline AlN
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单晶 AlN 上 (111) 取向 Ti1-xAlxN 薄膜的表征
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Yamamoto and M. Yoshikawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Kasukabe;H. Shimoda;S. Yamamoto and M. Yoshikawa
