亚10nm高分辨率电子束抗蚀剂Cali
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DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
许晓燕
中科院分区：
文献类型：
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作者：
任黎明;陈宝钦;赵珉;许晓燕
