CH_4-CVD単層グラフェン成長におけるH_2流量効果

CH_4-CVD単層グラフェン成長におけるH_2流量効果
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H_2流量对CH_4-CVD单层石墨烯生长的影响

DOI:
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发表时间:
2013
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
鳥海明
鳥海明
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
斉鈞雷;長汐晃輔;西村知紀;鳥海明

文献摘要

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