Isamu Kato, Toshiyuki Yoneda, Toru Matsushita, Makoto Yamashita: "Control of Radical Species in Microwave Plasma CVD" Trans.of EIC of Japan. J78-C-II,No.1. 142-148 (1995)
Isamu Kato, Toshiyuki Yoneda, Toru Matsushita, Makoto Yamashita: "Control of Radical Species in Microwave Plasma CVD" Trans.of EIC of Japan. J78-C-II,No.1. 142-148 (1995)
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Isamu Kato、Toshiyuki Yoneda、Toru Matsushita、Makoto Yamashita：“微波等离子体 CVD 中自由基物质的控制”Trans.of Japan。
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