研磨屑粒子を含むCMPスラリーのSPH流動シミュレーション
研磨屑粒子を含むCMPスラリーのSPH流動シミュレーション
复制标题
含磨料颗粒的 CMP 浆料的 SPH 流动模拟
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
稲村豊四郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高野薫;山田耕一郎;武澤伸浩;鈴木辰俊;稲村豊四郎
