新田大輔, Taeho Ha, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋哲: "Siウエハ酸化膜欠陥検出における光散乱偏光特性"2001年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集. 金沢工大. 263-264 (2001)
新田大輔, Taeho Ha, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋哲: "Siウエハ酸化膜欠陥検出における光散乱偏光特性"2001年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集. 金沢工大. 263-264 (2001)
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Daisuke Nitta、Taeho Ha、Takashi Miyoshi、Hirohiro Takatani、Satoshi Takahashi:“Si 晶片氧化膜缺陷检测中的光散射偏振特性”,金泽工业学院 2001 年学术会议论文集(2001 年)。 )
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