COおよびH_2添加CF_4プラズマにおけるHfO_2のエッチング特性
COおよびH_2添加CF_4プラズマにおけるHfO_2のエッチング特性
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HfO_2在CO和H_2添加CF_4等离子体中的刻蚀性能
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高橋和生
中科院分区：
文献类型：
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作者：
美山遼;高橋和生
