Developmeot of High-Density Helicon Plasma Source and Its Applications
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复制标题
高密度螺旋等离子体源的研制及其应用
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Shinohara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ishimaru;R.;H.Senshu;S.Sugita;T.Matsui;S. Shinohara
