誘導結合プラズマ支援スパッタ過程における基板入射熱流束
誘導結合プラズマ支援スパッタ過程における基板入射熱流束
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感应耦合等离子体辅助溅射过程中的基材入射热通量
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松田良信
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吉木宏之;小野寺洋介;松田良信;吉木宏之;松田良信
