微小空間における小型静電気センサの計測時間・精度の検討
微小空間における小型静電気センサの計測時間・精度の検討
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微空间小型静电传感器测量时间及精度研究
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山下 博史
中科院分区：
文献类型：
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作者：
菊永 和也;江頭 正浩;山下 博史
