DUV micro-Raman spectroscopy of comet defects in a411-SiC homiepitaxial film
DUV micro-Raman spectroscopy of comet defects in a411-SiC homiepitaxial film
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411-SiC 同质外延薄膜中彗星缺陷的 DUV 显微拉曼光谱
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et. al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T;Tomita;et. al.
