High precision Si waveguide devices designed for 1.31μm and 1.55μm wavelengths on 300mm-SOI
High precision Si waveguide devices designed for 1.31μm and 1.55μm wavelengths on 300mm-SOI
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高精度硅波导器件，设计用于 300mm-SOI 上的 1.31μm 和 1.55μm 波长
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Mogami
中科院分区：
文献类型：
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作者：
D. Shimura;T. Horikawa;H. Okayama;Seok;M. Tokushima;H. Sasaki;T. Mogami
世界纪录低传播损耗单模硅波导与te极化被证明。通过对宽度的精确控制，确定了300mm-SOI上环形谐振器谐振峰的偏差为1.8nm。
World-record low propagation losses for single-mode silicon waveguides with TE-polarization were demonstrated. As the results of precise width control, the deviation of 1.8nm was confirmed for the resonance peaks of a ring-resonator on a 300mm-SOI.