SiC表面の酸化と窒化によるMOS界面形成の科学

SiC表面の酸化と窒化によるMOS界面形成の科学
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SiC表面氧化和氮化形成MOS界面的科学

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发表时间:
2022
期刊:
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通讯作者:
喜多浩之
喜多浩之
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
喜多浩之

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